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高温炉的操作流程

发布时间:2018-09-13 08:31:04 浏览次数: 39
  澳门最新赌场的操作规程
  1 准备工作
 a,检查电源线接触是否良好
 b,检查连接线是否正常
 c,检查冷却水是否正常
 d,检查密封性是否正常
 e, 准备所需工具:无尘纸、无水酒精、帆布手套、作业手套、口罩、耐高温手套、石墨推车、不锈钢托盘
  2 开炉
a,打开主电源开关
b, 向炉体充氩气至大气压,打开炉体前门,取下石墨盖板
c, 将输送车开关打至 OUT
d, 清炉 清理炉膛内壁、石墨件及保温材料上的污物
 3装料
a,将石墨坩埚放置于输送车平台上,使用限位杆确定其位置,依次装入硅料。
b、拔出限位杆,输送车开关打至 IN,依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN,将坩埚装入炉膛内,并确定输送车会到初始位置。
c、装入石墨盖板,拧紧石墨螺栓,关紧炉门
 4 抽气
a、检查炉门是否关紧,真空系统是否密封
b、置 DP 按钮于 DP ON,打开干式真空泵,打开真空计开关 P1G1,打开干式真空泵 。阀门,开始抽气测试泄漏率,
c、当压力表指示为 50Pa是关闭真空泵阀门(非真空泵)露铝≤1Pa/min,打开氩气阀门充氩气(20L/min)。
加热 先打开水环泵 再按 RUN,开始工艺加热。
 5.冷却
a、加热结束后,按工艺条件进行冷却;

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